La plateforme TubeStar est une installation de type four tubulaire “batch”. Ce système a été conçu pour des applications de diffusion, d’oxydation et de dépôt avec une prise en compte des besoins des plateformes d’ingénierie procédé. La gamme TubeStar est modulaire et flexible. En effet, elle peut être composée d’un à quatre tubes indépendants, avec une capacité maximale de 50 wafers par tube.
Four Tubulaire - TubeStar
TubeStar Four tubulaire pour la R&D et la production de petites séries
La plateforme TubeStar excelle dans le traitement de petites quantités de wafers, mais est également adaptée au traitement de plus gros lots grâce à sa flexibilité et modularité. Les fours tubulaires de la gamme TubeStar ont prouvé leur efficacité lors de la qualification de procédés pour l’industrie photovoltaïque, notamment pour les lignes de fabrication PV.
Une des caractéristiques principales de ce four tubulaire réside dans le haut niveau de précision des traitement thermiques combinés à de hauts besoins de flexibilité et de modularité. Cela permet de couvrir un large spectre d’applications.
- Diffusion
- LPCVD
- Oxydation
TubeStar
- 100 mm
- 200 mm
- 300 mm
- Configuration atmosphérique
- Pompe pour vide primaire
- Pompe pour vide secondaire
- Configuration LPCVD
- Ligne de gaz process
- Oxydation humide
- Système de traitement de sous-produits
