JetLight Four RTP type "batch"

ECM Jetlight RTA furnace

Le système JetLight 50 est un four de traitement thermique rapide compacte et robuste.

 

Ce four à lampes est parfaitement adapté au Recuit Thermique Rapide (RTA)  d’un large panel de substrats et de composants (Silicium, Quartz, Saphir, Aciers, III-V, II-VI, Germanium, Ceramiques etc.) d’une taille maximale de 2 pouces soit d’un diamètre de 50 mm.

 

Le système JetLight est équipé d’une chambre de réaction tubulaire en quartz, et est donc compatible avec le traitement de pièces en volume d’une longueur maximale de 100 mm avec un diamètre de 50 mm maximum.

Les plus, les bénéfices

Le four à lampes JetLight a été développé pour répondre aux besoins des universités et des centres de recherche. Le système de controle des mesures de températures offre un contrôle thermique précis et répétable.

Les suscepteurs graphite revêtus de carbure de silicium sont disponibles pour le traitement de divers échantillons et matériaux.  La grande fiabilité et la haute performance de ce four à lampes, font de la JetLight, une installation permettant la production de petites séries.

 

Le procédé peut se dérouler sous vide ou sous atmosphère. Un système de régulation PID permet un contrôle thermique précis et répétable sur toute la plage de température. Le procédé est programmé par ordinateur, avec une supervision PIMS dédiée, permettant l’enregistrement de toutes les données du procédé et du four.

Applications possibles

  • Recuit Thermique Rapide (RTA)
  • Oxydation Thermique Rapide (RTO)
  • Nitruration Thermique Rapide (RTN)
  • Diffusion Thermique Rapide (RTD)
  • Recuit de contact
  • Cristallisation
  • Densification
  • Détensionnement

Formats et déclinaisons

JetLight

50 mm

Options

  • Pompe pour vide primaire
  • Suscepteur

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